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Weizhong Dai
oder
Raja Nassar
oder
Gerhard Franz
eng
Weizhong Dai / Raja Nassar
Modelling of Microfabrication Systems
Springer Berlin Heidelberg
2010
Taschenbuch
280 Seiten
160,49
€
in Kürze
This is the first book to address modelling of systems that are important to the fabrication of three-dimensional microstructures. It is unique in th…
eng
Gerhard Franz
Low Pressure Plasmas and Microstructuring Technology
Springer Berlin Heidelberg
2010
Taschenbuch
756 Seiten
213,99
€
in Kürze
Over the last forty years, plasma supported processes have attracted ever - creasing interest, and now, all modern semiconductor devices undergo at l…
eng
Weizhong Dai / Raja Nassar
Modelling of Microfabrication Systems
Springer Berlin Heidelberg
2003
Gebunden
280 Seiten
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