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Cookie akzeptierenElmar Degenhart
Strömungstechnische Auslegung reinraumtauglicher Fertigungseinrichtungen
- Springer Berlin Heidelberg
- 1992
- Taschenbuch
- 148 Seiten
- ISBN 9783540554783
Die vorliegende Arbeit entstand wihrend meiner Tiitigkeit als wissenschaftlicher Mitarbeiter am Fraunhofer-Institut flir Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart. Die Untersuchungen wurden anteilig mit Mitteln des Bundes ministeriums flir Forschung und Technologie (BMFT), Projekttriigerschaft "Halb leiterfertigungsgerlite" gefOrdert. Mein besonderer Dank gilt dem Leiter des Instituts, Herrn Professor Dr. -Ing. H. -J. Warnecke, flir seine groBziigige Unterstiitzung und Forderung, die entscheidend zur erfolgreichen Durchflihrung dieser Arbeit beigetragen haben. Herrn Professor Dr. -Ing. H. Bach danke ich flir die Ubernahme des Mitberichtes, flir die eingehende Durchsicht und flir die wertvollen Hinweise, die sich daraus ergaben. Aus dem groBen Kreis der Kollegen am Institut, die mich durch ihre Mitarbeit und anregende
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