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G. Anner
oder
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Matthew Pelliccione
eng
Kazuo Nojiri
Dry Etching Technology for Semiconductors
Springer International Publishing
2014
Gebunden
132 Seiten
149,79
€
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This book is a must-have reference to dry etching technology for semiconductors, which will enable engineers to develop new etching processes for fur…
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Handbook of Advanced Plasma Processing Techniques
Springer Berlin Heidelberg
2012
Taschenbuch
672 Seiten
374,49
€
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Plasma Processing of Semiconductors
Springer Netherlands
2012
Taschenbuch
628 Seiten
320,99
€
in Kürze
Plasma Processing of Semiconductors contains 28 contributions from 18 experts and covers plasma etching, plasma deposition, plasma-surface interactio…
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G. Anner
Planar Processing Primer
Springer Netherlands
2011
Taschenbuch
652 Seiten
106,99
€
in Kürze
Planar Processing Primer is based on lecture notes for a silicon planar process ing lecture/lab course offered at the University of Illinois-UC for …
eng
Toh-Ming Lu / Matthew Pelliccione
Evolution of Thin Film Morphology
Modeling and Simulations
Springer New York
2010
Taschenbuch
220 Seiten
160,49
€
in Kürze
The focus of this book is on modeling and simulations used in research on the morphological evolution during film growth. The authors emphasize the d…
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Handbook of Advanced Plasma Processing Techniques
Springer Berlin Heidelberg
2000
Gebunden
672 Seiten
374,49
€
in Kürze
Pattern transfer by dry etching and plasma-enhanced chemical vapor de position are two of the cornerstone techniques for modern integrated cir cuit…
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Plasma Processing of Semiconductors
Springer Netherlands
1997
Gebunden
628 Seiten
320,99
€
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