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Christophorou, Loucas G. / James K. Olthoff. Fundamental Electron Interactions with Plasma Processing Gases. Springer, 2003.
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Loucas G. Christophorou / James K. Olthoff

Fundamental Electron Interactions with Plasma Processing Gases

  • Springer
  • 2003
  • Gebunden
  • 802 Seiten
  • ISBN 9780306480379

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