Christophorou, Loucas G. / James K. Olthoff. Fundamental Electron Interactions with Plasma Processing Gases. Springer, 2003.

eng

Loucas G. Christophorou / James K. Olthoff

Fundamental Electron Interactions with Plasma Processing Gases

Springer
2003

Gebunden
802 Seiten
ISBN 9780306480379

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