Olthoff, James K. / Loucas G. Christophorou. Fundamental Electron Interactions with Plasma Processing Gases. Springer US, 2003.

eng

James K. Olthoff / Loucas G. Christophorou

Fundamental Electron Interactions with Plasma Processing Gases

Springer US
2003

Gebunden
802 Seiten
ISBN 9780306480379

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